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    新动力硅晶片出产工序的空调污染体系方案

    来源:www.bcgza.cn    发布于:2017-12-12 16:16   

     1、光伏新动力硅晶片简介

    光伏新动力硅晶片是由硅材料加工而成的一片片像镜子一样亮光的圆片,是出产半导体集成电路芯片的原材料。如今微电子工业飞速展开,集成电路技艺已迈入0.18微米以下的年代,极大地影响了光伏新动力硅晶片的展开,一同对光伏新动力硅晶片的功能参数的要求也有较大的提高,因此光伏新动力硅晶片的展开前景十分悲观。

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    1.1 光伏新动力硅晶片的出产工艺流程

    从大的方面来讲,光伏新动力硅晶片出产包括硅单晶棒出产和光伏新动力硅晶片出产两大局部,细分爲以下几道首要工序:

    单晶棒生长-单晶棒裁切和检测-外径磨削-切片-倒角(圆边)-研磨/研磨片检查-蚀刻(化学蚀刻、LP-CVD+AP-CVD 等工艺)-PTA热处置-背面损坏处理-抛光(ML粗抛、ML精抛)-洗净-质量检查-干净包装
    新动力硅晶片出产工序的空调污染体系方案
    从单晶棒生长到外径磨削爲硅单晶棒出产工序,切片今后的流程爲光伏新动力硅晶片出产工序。上面以某日资硅片厂爲例,引见光伏新动力硅晶片出产工序的空调污染体系和自控体系的规划方案。

    1.2 各出产工序环境操控要求

    某硅片厂出产4~6英寸光伏新动力硅晶片,产量爲480万片/年。此公司光伏新动力硅晶片使用于分立器材、功率元件和特种集成电路的制造。

    2、空调污染体系

    空调污染的规划是与工艺的布局、出产的流程亲近结合的。不同类型、不同用途的厂房空调污染体系都各有特点,上面来引见光伏。

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    2.1 空调体系

    1 切片室、倒角室、研磨片室仅有温度操控要求,设风冷热泵分体柜式空调机(PAC)来确保房间温度要求,室内机就近放置在车间内,接风管,选用双层百叶风口侧送风办法;室外机放置在屋面上。切片室的排风量较大,新风选用间接蒸发式热泵型房顶空调机S1-1和S1-2来补充。车间有防尘要求,风冷热泵分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数功率:≥60%,关于≥1μm 粒子),相反房顶式空调机需设两级过滤器。

    其原理图见图:

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    2 炉室、BSD室仅有温度操控要求,设风冷电热分体柜式空调机(PAL)来确保房间温度要求,室内机就近放置在车间内,接风管,选用方形散流器顶送风办法;室外机放置在屋面上。新风由相邻干净室正压过去。车间有防尘要求,风冷电热分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数功率:≥60%,关于≥1μm粒子)。

    3 磨片检查室有温度和湿度操控要求,设风冷电热分体柜式空调机(PAL)来确保房间温度要求,室内机就近放置在车间内,接风管,选用方形散流器顶送风办法;室外机放置在屋面上。新风经新风机组(MAU-1、2)处置后,接至送风管上送到室内,绝对湿度由新风机组来确保。新风机组是与污染体系共用的。车间有防尘要求,风冷电热分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数功率:≥60%,关于≥1μm粒子),新风机组内设粗、中效过滤器。

    2.2 污染体系

    光伏新动力污染工程体系用的新风空调机组(MAU)和循环空调机组(AHU)的冷媒选用6-11℃的冷冻水,加热选用0.2MPa蒸汽,加湿选用0.1MPa的干净蒸汽加湿,干净蒸汽由纯水经干净蒸汽发作器发生。

    1 CP室污染级别爲7级,换气次数取爲30次/小时,CP室工艺设备用酸量较多,选用全新风空调机组(MAU-3)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调办法。其气流流程爲:新风出口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-干净蒸汽加湿-送风机-送风管-高效过滤器送风-干净区。

    2 ML室污染级别爲7级,换气次数取爲30次/小时,选用新风机组(MAU)+循环机组(AHU)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调办法。新风接自其它体系共用MAU-1、2新风组。

    室、LP/CVD室、干净包装间污染级别爲6 级,换气次数取爲50次/小时,选用新风机组(MAU)+循环机组(AHU)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调办法。新风接自其它体系共用的MAU-1、2新风组。

    4 7级、6 级的干净室选用的气流办法爲顶部高效过滤器送风口送风,房间侧下百叶风口回风。其气流流程爲:新回风混合!中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-高效过滤器送风口-干净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。

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    5 洗净室、质量检查室污染级别爲7 级,选用新风机组(MAU)+循环机组(AHU)+风机过滤器单元(FFU))的空调办法。选用的气流办法爲顶部FFU送风,房间侧下百叶风口回风。FFU满布率爲33%,洗净室、质量检查室对NH4+、SQx浓度有要求,需在循环机组(AHU)内增设化学过滤器。5级污染间的气流流程爲:新回风混合-化学过滤器(NH4+)-化学过滤器(SQx)-中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-送风静压箱-风机过滤器单元(FFU)-干净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。新风接自其它体系共用的MAU-1、2新风组。

    6 除CP室外的干净室所需新风选用2台新风机组(MAU-1、2)汇集处置,新风汇集处置后送至各循环机组(AHU)。其气流流程爲:新风出口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-干净蒸汽加湿-送风机-送风管-各循环空调机组(AHU)。

    7 CP室、ML室、洗净室用酸量绝对较多,CP室、ML室内的高效过滤器送风口的分散板需选用不锈钢板制造,洗净室内的FFU的网板需选用不锈钢板制造。

    8 另需留意,质量检查室根据工艺要求需选用黑色墙板、黑色顶板,相应选用黑色回风口,FFU的网板需选用黑色网板。

    3、污染体系的空调自动操控

    新风机组(MAU-1、2)选用变频风机,由总送风管上的静压传感器来操控变频器。在接入每个风量及正压操控循环机组(AHU)的新风管上均设置电动调理阀,由各干净室的正压值来调理电动调理阀的开度,使干净室的正压值不随出产设备的排风量的改动而改动,电动调理阀的开度改动惹起总送风管上的静压改动,根据其设定值调理AHU-1、2的风机频率,以抵达操控意图。

    3.1 污染车间的温湿度操控

    污染出产车间的湿度是由新风机组MAU-1、2来确保,操控新风机组送风情况点,根据送风情况设定值来调理干蒸汽加湿器的电动执行机构和表冷器及加热器回水管上的电动二通阀的开度。露点温度DPT由检查室内湿度灵敏元件HE接连整定。

    污染出产车间的温度是由循环机组AHU来确保的,根据室内温度来调理表冷器回水管上的电动二通阀的开度。

    3.2 供冷体系操控

    冷冻水体系方面选用一级泵,用负荷操控的办法来判定冷水机组及相应水泵、冷却塔的关闭台数。根据设定供、回水压差来自动操控供、回水主管之间压差流量旁通阀。

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