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    光学微电子污染工程范围内之空气中的微尘粒子

    来源:www.bcgza.cn    发布于:2017-12-12 16:11   

    、无害空气、细菌等之净化物扫除,并将室内之温湿度、干净度、室内压力、气流速度与气流散布、乐音惊动及照明、静电操控在某一需求范围内,而所给于特别规划之密闭空间。

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    光学微电子污染工程亦名无尘室或清净室,如今已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食物制造等职业不可或缺的重要设备。近几年来,由于技艺之立异展开,关于商品的高精密度化、粗大型化之需求更爲火急,如超大型积体电路之研讨制造,已成爲世界各国在科技展开上极爲注重的项目,而我公司的规划理念及施工技艺退职业中则处于抢先位置。

    光学微电子污染工程普通包括:
    光学微电子污染工程范围内之空气中的微尘粒子
    1、 干净出产区

    2、 干净辅佐间(包括人员污染用房、物料污染用室和局部生活用室等)

    3、 操持区(包括任务、值勤、操持和休息等)

    4、 设备区(包括污染空调体系运用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)

    光学微电子污染工程污染原理

    气流→初效污染→空调→中效污染→风机送风→管道→高效污染风口→吹入房间→带走尘土细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效污染 反复以上进程,即可抵达污染意图。

    光学微电子污染工程污染参数

    换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa

    平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬天>16℃;夏日 <26℃;动摇±2℃。

    温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右爲宜;电子车间湿度略高防止发作静电。

    噪声≤65dB(A);新风补偿量是总送风量的10%-30%;照度300LX。

    光学微电子污染工程构造材料

    1. 污染厂房墙、顶板材普通多选用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特征爲美丽、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等普通选用公用氧化铝型材制造。

    2.地上可选用环氧自流坪地坪或初级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。

    3.送回风管道用热渡锌板制成,贴污染保温作用好的阻燃型PF发泡塑胶板。

    4.高效送风口用不锈钢框架,美丽清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。

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    光学微电子污染工程处理方案:

    污染工程的规划进程中,应增强对光学微电子职业污染工程规划方案分析理解,根据该工程是新建工程或许是旧厂房改造工程,并结合其详细的出产工艺、出产流程等要求判定其需求的干净度、温湿度。再根据该工程的详细情况,一同还要思索到出产厂家的经济接受才能,综合各种要素来判定选用何种污染方案,这样才可规划出一个能称心甲方出产运用要求、工程造价合理、经济节能有用的方案。

    1、组合式空气处置机组+冷水机组+高效送风口

    这是一个最传统的污染空调体系的规划方案。组合式空气处置机组里含有各种功用段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中心段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组供应。

    优点:

    A.空气处置作用好,因空气经过汇集处置,在送风进程中被净化水平较低。送风的温度、湿度的操控比拟准确;

    B.比拟适用于有汇集冷源的或是较大的厂房;

    C.空调冷热源可与厂房普通空调体系合用或独立冷热源;

    D.修缮频率较低;

    E.车间的乐音低。

    缺陷:

    A.需求有配套的冷冻机房或有放置热泵机组的室外空间。另需求有放置组合式空气处置机组的空调机房,如25000m3/h的组合式空气处置机组,常用外形尺寸爲6450×1850×2250mm左右。关于旧厂房改造项目来说比拟困难空出一个20-30┫的机房的;

    B.造价高。

    特征:

    A.主张新风经过汇集处置后再与回风混合,这样可以增添表冷段的冷处置担负;

    C.这类方案普通可以适用干净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的污染无尘厂房。

    2、光学微电子职业污染工程规划方案分析之水冷柜机+增压风柜+高效送风口

    与前种方案比拟,这是绝对比拟复杂的空调方案。它可以大大地减少机房的面积,水冷柜机可以根据详细的情况安顿于较小机房内或污染车间内,增压风柜也可以安顿于机房内或吊在机房内或在夹层内。

    优点:

    A.空气处置作用较好的,处置往后的空气在送风进程中被净化水平低。送风的温度、湿度操控作用可以抵达较好的操控。次要在空气处置机组(增压风柜)里停止操控;

    B.安顿灵敏。自带冷源;

    C.巨细厂房、新旧厂房都适用;

    D.修缮频率较低;

    E.车间乐音低。

    缺陷:

    A.需求小面积的机房。需求有冷却塔、冷却水泵的摆放方位;

    B.空调机组与空调处置机组要汇集安顿;

    C.造价较低。特征:这种方案可以是一次回风也可以是二次回风,详细根据车间的巨细情况而定;这类方案普通可以适用于干净度爲千级、万级、十万级等的污染无尘厂房。

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    3、光学微电子职业污染工程规划方案分析之分体空调柜机++FFU送风口

    这是最简易的一个空调方案。是间接将分体空调柜机安顿于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU平均安顿于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。

    优点:

    A.不需求占用机房面积,安顿很灵敏的;

    B.可以称心空气的干净度;

    C.造价最低。如此类无尘车间初投资约需求40万;

    D.送风平均度好。

    缺陷:

    A.温湿度操控较差;

    B.可以称心空气的干净度;

    的修缮频率高。

    4、光学微电子职业污染工程规划方案分析之无尘车间的特征

    A、无尘车间的干净度:

    LCD制屏的简单流程爲:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切开→LC注入→贴偏振片→制屏终检。

    在本规划里是指开头工艺的一些无尘车间,其污染干净度普通爲千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间次要是这类商品的冲压车间、拼装等无尘车间,其干净度普通爲万级或十万级。

    B、室内空气参数要求 :

    (1)温湿度要求:温度普通爲24+2℃,绝对湿度爲55+5%。

    (2)新风量大。由于这类车间内,人员比拟多,可以根据以下数值应取下列的最大值:非单向流干净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和坚持室内正压值所需的新颖空气量;确保室内每人每小时的新颖 空气量≥40m3/h。

    (3)送风量大。爲了称心干净室内的干净度及热湿均衡,需求较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度爲2.5米的,假如是万级,送风量就需求300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);假如是十万级,送风量就需求300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。

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    光学微电子职业污染工程规划方案分析关于常规电子厂房干净室空调的规划,应根据电子厂房的出产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调规划方案,以称心出产工艺的要求作爲条件。根据以往阅历,关于要求高的可以选用组合式空气处置机组汇集处置的空调方案;关于要求不高的,又要初投资低的,可以选用柜机+FFU。总归,详细的方案挑选根据详细情况而定。

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